是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 廢水處理設備分類收集含鉻、鎳等廢水，經化學沉淀、離子交換處理，確保重金屬達標排放。真空電鍍設備生產線

除油超聲波清洗機設備特點：槽體設計為全不銹鋼結構，整體美觀大方，采用SUS304/316L不銹鋼板成型，堅固耐用。功能完善，安裝簡單方便，易操作，**可靠。采用質量換能器和獨特發生器，超聲強勁有力，搭配日本震頭，確保清洗力強且經久耐用。配備自動溫控加熱裝置，溫控范圍為室溫～100℃。超聲波槽體與發生器分體，功率、時間可調，使用及保養便捷。超聲波頻率可選：28KHZ、40KHZ、68KHZ、80KHZ、120KHZ、135KHZ等。支持按客戶需求定制規格尺寸。適用行業：五金、電鍍、鐘表、眼鏡、玻璃、光電、電子等多行業的除油除蠟污垢場景。浙江環保型電鍍設備陽極裝置分可溶性（如鋅板、銅板）與不溶性（如鉛板），維持電解液金屬離子濃度，保障電鍍反應持續穩定。

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

電鍍槽：耐腐蝕材質，配備溫控、循環過濾系統，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料，減少人工污染風險

控制系統：PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP），減少邊緣效應，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監測，降低孔洞、結節等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線，替代傳統鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道，實現芯片堆疊

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率

陽極氧化線是專門用于金屬表面陽極氧化處理的成套生產線，通過電化學方法在金屬（如鋁、鋁合金、鎂合金、鈦合金等）表面生成一層致密、多孔的氧化膜（如Al?O?），以提升工件的耐腐蝕性、耐磨性、絕緣性或裝飾性。它是氧化生產線中常用的類型，在于利用外加電源使金屬作為陽極發生氧化反應，形成與基體結合牢固的氧化膜層。

陽極氧化線的原理（電化學氧化）原理：

將金屬工件（如鋁）作為陽極，浸入電解液（如硫酸、草酸、鉻酸溶液）中，接通直流電源后，陽極發生氧化反應：

陽極（金屬）：2Al+3H2O→Al2O3+6H++6e?（以鋁為例）

陰極（惰性電極，如鉛板、不銹鋼）：6H++6e?→3H2↑

反應生成的氧化膜（Al?O?）緊密附著在金屬表面，初始膜層多孔，可通過后續處理（如染色、封孔）賦予更多功能。

膜層特性：多孔結構（孔徑約10~20nm），膜厚可控（從幾微米到200μm以上），硬度高（HV300~500），絕緣性優異（電阻率達10?~10??Ω?cm）。 無氰電鍍設備配套活化劑與絡合劑，替代傳統含氰工藝，在保障鍍層質量的同時提升**性。

集氣罩：根據前處理設備形狀、廢氣散發特點定制，如槽邊側向集氣罩等，可高效收集廢氣，常見材質有 PP 等耐腐蝕材料 。

通風管道：多選用耐腐蝕的 PP 材質，用于連接抽風設備各部件，將廢氣輸送至處理設備，其設計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。

引風機：常安裝在輸送通道出風口處，為廢氣的抽取和輸送提供動力 ，可根據實際需求選擇不同規格和性能的引風機。 

此外，一些抽風裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網板等，用于對廢氣進行初步過濾、吸附，減少大顆粒雜質等對風機的損害 。 刷鍍設備通過手持導電筆局部涂覆電解液，適用于機械零件磨損修復或特殊形狀工件的局部電鍍。江西貴金屬電鍍設備

鍍銅設備的陽極磷銅板定期活化處理，維持表面活性，穩定銅離子濃度，保障鍍層沉積速率。真空電鍍設備生產線

超聲波清洗機通過高頻振動提升前處理效果。設備采用28kHz與40kHz雙頻組合技術，既能去除大面積油污，又能深入盲孔和微縫隙清潔。精密模具廠在鍍前處理中引入超聲波清洗，使鍍層結合力從3N/cm提升至5N/cm，漏鍍率下降70%。設備配備循環過濾系統，將清洗液中固體顆粒控制在5μm以下，延長藥液使用壽命。在貴金屬電鍍中，超聲波輔助化學除油可減少50%的氫氧化鈉用量，降低廢水處理負荷。通過優化清洗時間和功率參數，該設備適用于手機外殼、航空緊固件等高精度工件的預處理。 真空電鍍設備生產線