2025-05-05 03:19:39
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
二、功能1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
三、設備組成1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數 廢氣處理設備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔,中和電鍍過程中揮發的酸堿廢氣,符合環保排放要求。安徽微弧氧化電鍍設備
陽極氧化線的特點
1.膜層與基體一體化:氧化膜為金屬自身氧化物,結合力遠超電鍍或噴涂的外來涂層,不易脫落。
2.功能可定制化:
防腐:致密膜層隔絕腐蝕介質,鋁陽極氧化膜耐鹽霧可達 500 小時以上。
耐磨:硬質陽極氧化膜(厚度 50~200μm)硬度接近陶瓷,適用于活塞、齒輪等機械部件。
裝飾:通過染色或電解著色實現多樣化外觀(如手機殼、建筑鋁型材)。
絕緣 / 散熱:高電阻率膜層用于電器絕緣,多孔結構可提升散熱效率(如 LED 燈具)。
3.環保特性:傳統鉻酸工藝含重金屬,需配套廢水處理;現代主流為硫酸陽極氧化 + 無鉻封孔,環保性提升。4.材料適應性:主要針對鋁、鎂、鈦等輕金屬,鋼鐵等材料因氧化膜疏松少用。 浙江經濟型電鍍設備脈沖電鍍電源設備通過周期性通斷電流,減少鍍層孔隙率,提升結晶細致度,適用于精密零件電鍍。
滾鍍機的應用場景:
滾鍍機決定生產線的適用工件類型滾
1.鍍機適用的工件特征
尺寸:直徑通常<50mm,如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。
形狀:規則或輕微不規則(避免卡孔或纏繞,影響滾筒旋轉)。
批量:適合萬件級以上的大批量生產(如標準件電鍍),小批量生產時滾鍍機效率優勢下降。
2.對電鍍生產線的適配性
若生產線以滾鍍機為鍍槽設備,則整體設計圍繞 “小件批量處理” 優化:
前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸;
傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架;
電源功率匹配滾筒內工件總表面積(電流需均勻分布)。
反之,若生產線以掛鍍為主(如汽車配件、裝飾件),則鍍槽、傳輸系統設計完全不同,體現 “定制化生產線” 特性。
廢氣處理設備和電鍍設備的關系廢氣處理設備是電鍍設備不可或缺的配套設施,在電鍍生產過程中發揮著重要作用,具體關系如下:
保障環境與人員**:電鍍過程中會產生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進行處理,這些廢氣會彌漫在車間內,不僅會對操作人員的身體健康造成嚴重危害。廢氣處理設備通過收集和凈化這些有害廢氣,能將車間內的空氣質量維持在**標準范圍內,同時確保排放到大氣中的廢氣符合環保要求,從而保護環境和人員健康。
保護電鍍設備:電鍍車間內的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性,長期暴露在這些廢氣中,電鍍設備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會被腐蝕,導致設備的使用壽命縮短,維修成本增加。
廢氣處理設備有效去除有害廢氣,減少對電鍍設備的腐蝕,保障電鍍生產的穩定進行。
提升電鍍產品質量:如果車間內廢氣彌漫,空氣中的灰塵、雜質等容易吸附在待鍍工件表面,影響鍍層與工件的結合力,導致鍍層出現麻點、、起皮等缺陷,降低電鍍產品的質量和良品率。廢氣處理設備有助于保持車間內空氣的清潔,減少空氣中雜質對鍍件的污染
滿足環保合規要求:隨著環保法規的日益嚴格,電鍍企業必須確保其生產過程中的廢氣排放達到**和地方的環保標準。
滾鍍設備采用帶孔滾筒裝載小工件,旋轉翻滾中完成電鍍,高效處理螺絲、電子元件等批量小件。
電鍍自動線是通過自動化設備實現連續生產的電鍍系統,主要類型及特點如下:
主流自動線類型
1.龍門式自動線
結構:多工位龍門機械手驅動,PLC控制
特點:精度高(±0.1mm),適用于精密件(如汽車部件、電子接插件)
產能:單線日處理量可達5000-10000件
2.環形垂直升降線
結構:環形軌道+升降機,連續循環作業
特點:節拍快(20-40秒/掛),適合中小型工件(如五金件、衛浴配件)
優勢:占地小,能耗低(節電30%以上)
3.滾鍍自動線
結構:六角滾筒+變頻驅動,批量處理小型零件(螺絲、紐扣)
參數:滾筒轉速3-10rpm,裝載量50-200kg/批
鍍層均勻性:±15%,效率達8㎡/h
4.連續電鍍線
類型:帶材/線材電鍍(如PCB銅箔、銅線)
技術:張力控制+多槽串聯,速度可達10-30m/min
精度:鍍層厚度偏差<5%
5.機器人電鍍線
配置:六軸機器人+視覺定位
系統應用:復雜曲面工件(汽車輪轂、航空部件)
優勢:柔性生產,支持多品種切換
應用領域
汽車:鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻
電子:PCB微孔鍍銅、連接器鍍金
五金:衛浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅 過濾循環設備通過精密濾芯凈化電解液,去除金屬顆粒等雜質,保障鍍液清潔與工藝穩定。海南貴金屬電鍍設備
檢測設備的渦流測厚儀非接觸式快速測量鍍層厚度,實時反饋數據至 PLC 系統自動調整參數。安徽微弧氧化電鍍設備
全自動龍門電鍍生產線控制箱是電鍍自動化生產系統的控制單元,主要用于協調龍門機械手、電鍍槽、電源系統、液位/溫度傳感器等設備的運行,確保電鍍工藝精細執行。
特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌,每一臺行車可自動、半自動轉換,開放式自由程序選擇,智能控制管理,在電腦和人機界面觸摸屏對數據實時處理及進行有效監控,設計科學合理、緊湊、自動化程度高;用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛浴、燈飾家電等行業 安徽微弧氧化電鍍設備